平行光管与 DUT 的焦距匹配
当我们使用平行光管对 DUT 进行测试时,平行光管的准直物镜 Lcol 与 DUT 的成像物镜 Ldut 组成了一个光成像系统,靶标通过 Lcol 所成的像便是 Ldut 的物。焦距是Lcol的主要参数之一,在平行光管选型中,焦距的选择体现了对测试精度和设备体积的权衡。
首先,我们把Lcol与Ldut看作一个光学系统。当Ldut焦距和靶标尺寸一定时,Lcol的焦距愈大,靶标的横向放大率愈低,靶标在DUT上的成像愈小,即所得图像的空间频率愈高。假如Lcol的焦距为Ldut的N倍,则可将对靶标的空间频率要求降为所需测试空间频率的1/N,降低靶标制作难度以及靶标的公差、瑕疵对测量结果的影响,如图1所示。
其次,Lcol的焦距与靶标横向(垂轴)位移所产生的角度呈反比(当角度较小时),假如 Lcol 的焦距为 Ldut 的 N 倍,可将靶标横向位置偏差带来的角误差降至 1/N,从而降低测量的角度敏感性,如图2所示。
从计量学视角出发,计量标准应比DUT具有更低的测量不确定度,在工业实践中得到广泛认可的测量不确定度比值为1:4,即仪器的误差应小于DUT公差的1/4。如上所述,假如Lcol的焦距为Ldut的4倍,可将测试系统的靶标制作误差及角误差降至1/4,符合测量不确定度比值的要求。
再次,Lcos 的 F 数为焦距与出瞳直径的比值,对于固定的 F 数,长焦距意味着 ExP 的口径更大,更容易覆盖 EnP。
然而,焦距也是决定平行光管可覆盖视场角的因素之一,当靶标尺寸不变时,焦距愈大,可覆盖的视场角愈小。因此,使用长焦距虽然有利于提升精度,但必须使用足够大的靶标才能覆盖广角镜头所需的视场角。而靶标和光源尺寸的增大,会使平行光管体积、重量和成本陡然上升,从而制约了可选择焦距的上限。
